Р. В. Лапшин

Метод распределённой калибровки сканера зондового микроскопа заключается в том, что в процессе автоматического измерения эталонной поверхности ищется сеть локальных калибровочных коэффициентов (ЛКК), в соответствии с которой каждая точка пространства перемещения сканера характеризуется уникальным набором масштабных коэффициентов. При проведении распределённой калибровки используется методология особенность-ориентированного сканирования (ООС), что позволяет in situ исключить негативное влияние термодрейфа, ползучести и гистерезиса на получаемые результаты. Чувствительность ЛКК к погрешностям в определении координат положения особенностей поверхности, образующих локальную калибровочную структуру (ЛКС), устраняется путём многократного повторения измерений с последующим построением регрессионных поверхностей. Количество повторных измерений ЛКС принципиально ничем не ограничено. Располагая калибровочной базой данных, возможно в один приём исправить все пространственные искажения, вызываемые нелинейностью, неортогональностью и паразитным воздействием друг на друга пьезоманипуляторов сканера микроскопа. Чтобы обеспечить высокую точность пространственных измерений в нанометровом диапазоне, калибровка выполняется с использованием природных эталонов - постоянных кристаллической решётки. Метод может использоваться на любом сканирующем зондовом приборе.

^# Applied Surface Science , Volume 359, Pages 629-636

Локальная калибровочная структура ABC на поверхности кристалла

ОТПРАВИТЬ: